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Sistemas de posicionamiento 4 ejes
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Repetibilidad: 0,03 mm
Carga: 25 kg
Carrera: 50 mm - 1.000 mm
... incluyen 6 patentes de invención, modelos de utilidad, patentes de apariencia y 76 derechos de autor de software. El sistema de posicionamiento multieje puede estar compuesto por varios módulos lineales ...

Repetibilidad: 0,3 µm - 2,5 µm
Carga: 5 kg - 20 kg
Carrera: 100 mm - 720 mm
... inspección doble XYZ para semiconductores Personalizable - Ideal para la inspección automatizada de obleas / semiconductores - Gran recorrido de 2 x 720 x 720 x 100 mm cada uno - Permite la integración de dos procesos ...

Repetibilidad: 0,2 µm - 2 µm
Carga: 15 kg
Carrera: 10 mm - 600 mm
... debidas a los portamuestras neumáticos - Vida útil excepcional y funcionamiento 24/7 sin mantenimiento Este sistema de posicionamiento de pórtico XYZ permite procesos de inspección bilaterales ...

Repetibilidad: 0,03, 2 µm
Carga: 2,5 kg
Carrera: 2 mm
... . Diseñado para aplicaciones avanzadas de semiconductores, este módulo ofrece cuatro grados de libertad independientes - 3 ejes rotativos (RX, RY, RZ) y uno vertical (Z) - consiguiendo un rendimiento excepcional en términos ...

Repetibilidad: 0,3 µm
Carga: 30 kg
Carrera: 650, 205 mm
... configuraciones predefinidas, desde un eje X hasta un sistema de movimiento completo de 6 grados de libertad (DOF). La posibilidad de elegir entre nuestra electrónica estándar hace que el rendimiento del sistema ...


... Sistema de inspección XYZ Phi adecuado para obleas de 12 pulgadas, placas de circuitos impresos (sala limpia ISO 2) - Inspección y Microscopía Pórtico universal de 4 ejes ...
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