Detección de temperatura por fibra óptica para semiconductores en aplicaciones de grabado y deposición
El Luxtron® M-1100 de Advanced Energy es la última plataforma convertidora de termometría FluorOptic® (FOT), que incorpora una fuente de luz avanzada y una electrónica mejorada de ruido ultrabajo. Se han desarrollado dos nuevas fórmulas de fósforo patentadas VioLuxTM y RubiLuxTM para ofrecer una precisión, repetibilidad y estabilidad de 0,5 °C en un amplio rango de -200 a 450 °C
Rango de medición de -200 a 450°C para soportar procesos de grabado avanzados
La electrónica y los algoritmos avanzados de bajo ruido proporcionan una precisión superior a 0,05°
Los sensores AccuDisc™ permiten que el sensor esté separado de la sonda permitiendo una mayor precisión y repetibilidad
Equipo experimentado para apoyar el desarrollo de sondas personalizadas para fabricantes de equipos originales
Tamaño compacto en carril DIN para minimizar la huella cuando se integra en herramientas y equipos
Inmune a interferencias electromagnéticas de fuentes EMI, RF, alta tensión y microondas
Ventajas
Medición sin contacto para minimizar la desviación térmica
Fácil de instalar en equipos OEM
Características
Amplio rango de temperatura soportado
Bajo nivel de ruido con rápida velocidad de respuesta
5 canales en un solo convertidor
Salidas de comunicación flexibles
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