Generador de plasma radiofrecuencia Paramount

Avance en el desarrollo de sus procesos con un nuevo enfoque en la flexibilidad operativa. Los generadores de RF Paramount® HF ofrecen amplios rangos de potencia, admiten múltiples escenarios de integración y están equipados con interfaces serie/analógicas estándar y otras interfaces de comunicación opcionales. Paramount HF permite la alta densidad de plasma y energía iónica que requieren los dispositivos de alta relación de aspecto y acelera el proceso para el próximo nodo de herramientas de procesamiento de semiconductores. La arquitectura digital de la plataforma Paramount proporciona una gestión precisa de la potencia y agiliza la integración de nuevas funciones, sin necesidad de plazos de entrega ni cambios de hardware. La salida de alta potencia y el rendimiento repetible se consiguen mediante la detección en tiempo real de los cambios de plasma. Y los límites de protección interna facilitan un funcionamiento fiable. - Control digital completo - Sintonización de frecuencias, pulsos y sincronización de pulsos - Medición de potencia e impedancia en tiempo real - Gestión de arco - Sincronización de fase (CEX) - Mejora la estabilidad del plasma y la repetibilidad del proceso - Control preciso de la potencia de RF - Respuesta rápida a los cambios del plasma - Adaptarse fácilmente a las necesidades específicas de la aplicación