Fuente de plasma remota MAXstream

La línea MAXstream™ de Advanced Energy es la próxima generación de fuentes de plasma remotas para la limpieza de cámaras. La MAXstream está disponible en caudales de 3, 6, 8, 10 y 12 SLPM NF3 para optimizar el precio y el rendimiento. Para garantizar una larga vida útil de la cámara y una baja generación de partículas, Advanced Energy aporta su tecnología y materiales de fuente de plasma probados y diferenciados. El exclusivo diseño de doble núcleo de ignición ofrece la mejor fiabilidad de ignición de plasma de su clase. Con una ignición fiable y de encendido continuo, MAXstream RPS ofrece un funcionamiento más constante y menos tiempo de inactividad para el mantenimiento de la RPS. MAXstream RPS facilita la compatibilidad con los sistemas RPS tradicionales, simplificando la compatibilidad de diseño y permitiendo actualizaciones de campo sin problemas a una nueva solución fiable y repetible. - Cinco modelos: MAXstream 300 para aplicaciones de bajo caudal y MAXstream 600, 800, 1000, 1200 para aplicaciones de mayor caudal - RPS de alta fiabilidad que maximiza el tiempo de actividad de la herramienta - Capacidad de integración con las unidades RPS tradicionales para facilitar la actualización del diseño a un mayor rendimiento y fiabilidad - Refrigeración mejorada de las paredes de la fuente de plasma para reducir los daños por dilatación térmica y erosión química - Supervisión y control activos de la potencia de plasma para un control de la potencia líder en el sector