Generador de plasma radiofrecuencia Paramount Plus

Pulsación multinivel y control de la forma de onda de los pulsos para las nuevas aplicaciones de plasma Obtenga el conjunto de funciones más amplio disponible en un producto de RF pulsada. Paramount Plus ofrece una regulación precisa de RF, una sofisticada manipulación de pulsos y una avanzada adquisición de datos. Diseñado para cubrir una amplia gama de energía de RF - frecuencias de 1 a 60 MHz y niveles de potencia de 1,5 a 15 kW - el Paramount Plus ofrece la repetibilidad y fiabilidad que usted necesita. Paramount® Plus Fuentes de alimentación de RF pulsada Con pulsos multinivel, control de la forma de onda de los pulsos y el más amplio disponible en un producto de RF pulsada, la plataforma Paramount® Plus le permite sobrepasar los límites de la innovación de procesos y ofrece el mejor valor del mercado. Excelente estabilidad del plasma, regulación precisa de RF, manipulación sofisticada de pulsos y adquisición y la adquisición avanzada de datos proporcionan la latitud extrema en el control del plasma necesaria para los nodos de próxima generación para los nodos de próxima generación. VENTAJAS PARA EL USUARIO control preciso de RF y pulsos mayor estabilidad del plasma y repetibilidad del proceso rápida respuesta a los cambios del plasma flexibilidad y adaptabilidad para el avance de las tecnologías de fabricación APLICACIONES DE SEMICONDUCTORES pVD pECVD grabado