Magnetrón rotativo

cilíndrico

Hay disponibles conjuntos completos, tanto de montaje directo como de montaje lateral, con diámetros de tubo de soporte de 3″ (75 mm) o 5″ (125 mm) en longitudes de hasta cuatro metros y, con una separación mínima entre fuentes, hay disponibles múltiples conjuntos en línea para sistemas compactos de producción de alto rendimiento. El ONYX-Revolution™ utiliza un diseño de imán universal y rentable con plazos de entrega personalizados para adaptarse a cualquier tipo de objetivo. Además, está diseñado con componentes disponibles en el mercado para ofrecer una inversión y una fiabilidad a largo plazo y de bajo coste. La tecnología patentada de imanes perfilados de Angstrom Sciences crea un perfil de deposición más cercano a la normalidad entre la fuente y el sustrato. El perfil de deposición mejorado ofrece una menor acumulación de residuos en las paredes de la cámara. Además, el conjunto de imanes de Angstrom Sciences ofrece una mayor intensidad de campo magnético, lo que permite al usuario ejecutar el proceso de sputtering a menor potencia para alcanzar las tasas de deposición típicas. Intrínsecamente, los magnetrones cilíndricos pueden contener hasta tres veces la cantidad de material objetivo que un magnetrón planar con la misma área espacial. ONYX-Revolution™ de Angstrom Sciences optimiza aún más la inversión en material con una utilización del blanco de hasta el 85%. Además, el funcionamiento a niveles de potencia más bajos supone un ahorro energético típico del 20%.