Magnetrón pulsado

a medidatubulares

Los magnetrones circulares de Angstrom Sciences han llegado a ser reconocidos como el estándar de la industria del sputtering debido a la Angstrom Advantage™ y a una serie de otras características de diseño que ofrecen posibilidades casi ilimitadas en cuanto a configuración y rendimiento del proceso. Su diseño compacto hace que nuestros magnetrones circulares sean ideales para cualquier aplicación nueva o de reequipamiento, incluyendo los conjuntos de grupos más complejos para las cámaras de vacío más pequeñas. Los cabezales de baja impedancia ofrecen compatibilidad con RF, CC, CC de frecuencia media, CC pulsada, HiPIMS y potencia de microondas. Utilizamos racores estándar ISO NW, así como bridas de cierre metálico Conflat®. Todas las utilidades se mantienen en atmósfera y se accede a ellas a través de racores de compresión de junta tórica estándar para facilitar la instalación en cualquier sistema de vacío. Las fuentes de magnetrón circulares están disponibles desde 1″ (25 mm) hasta 16″ (406 mm) y diámetros de objetivo mayores en configuraciones estándar o personalizadas. Nuestra abrazadera de objetivo roscada patentada y el escudo de ánodo en nuestros pequeños cátodos circulares le permiten cambiar los objetivos sin el uso de herramientas auxiliares. Su capacidad de ajuste integrada también le permite ajustar cátodos de distintos grosores sin necesidad de utilizar dispositivos espaciadores. Los magnetrones ONYX® pueden funcionar a presiones extremadamente bajas (hasta 10-4 Torr), y nuestros diseños de refrigeración directa pueden suministrar densidades de potencia de hasta 250 vatios/pulg2 (30 vatios/cm2) en funcionamiento continuo.