Magnetrón rotativo

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Los magnetrones rotativos son variantes de un magnetrón circular en el que el conjunto de imanes gira mecánicamente alrededor de un eje central. Esta forma de realización, desarrollada originalmente para aplicaciones de semiconductores, permite el recubrimiento uniforme de un sustrato estacionario con el diámetro de cátodo más pequeño posible. Otras aplicaciones de esta tecnología incluyen situaciones en las que el material redepositado en la cara del blanco genera defectos en la película en crecimiento; en un magnetrón rotativo, toda la cara del blanco es barrida por un conjunto de imanes que giran entre 20 y 600 RPM. Angstrom Sciences ofrece una gama de magnetrones rotativos, desde 4″ (100 mm) hasta 16″ (406 mm) de diámetro, y están diseñados con una configuración de imán ajustable que permite la optimización del proceso y la mejora de la uniformidad. Nuestros magnetrones pueden montarse en configuraciones internas o externas. Un magnetrón giratorio ofrece una excelente uniformidad sin movimiento del sustrato. Esto combinado con la erosión de toda la cara proporciona defectos extremadamente bajos causados por la contaminación de partículas. Estos magnetrones también pueden integrarse en máquinas con poco espacio, proporcionando más flexibilidad en su aplicación.