- Máquinas de Producción
- Máquina para la industria electrónica
- Magnetrón
- Angstrom Sciences, Inc.
Magnetrón tubulares
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Características
- Especificaciones
- tubulares
Descripción
Para aplicaciones que requieren que el sustrato esté expuesto a largos periodos de alta temperatura, los magnetrones circulares de alta temperatura de Angstrom Sciences están optimizados con aislantes cerámicos y sellos de vacío que permiten que el cátodo mantenga los parámetros de rendimiento en condiciones de alto calor. Existen diseños de alta temperatura que funcionan a 200, 300 y 450 grados Celsius.
Los magnetrones circulares de alta temperatura están diseñados para presiones base en el rango de 10-9mTorr y están especialmente diseñados para permitir las variaciones que puedan producirse a lo largo del ciclo térmico sin fugas ni desviación de la calidad de la película.
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