Magnetrón

En el sputtering por diodos no se utilizan imanes y, por tanto, no hay campo magnético para contener el plasma. Esto significa que los iones de plasma fluyen libremente por todo el sistema de vacío y erosionan casi toda la superficie del blanco, aumentando su utilización. Sin embargo, esto también significa que las partículas de la película pulverizada se mueven libremente por toda la cámara, no directamente al sustrato. Esto puede aumentar significativamente el tiempo de proceso y, al no haber confinamiento de electrones, el sustrato se calentará más. Angstrom Sciences suministra diodos para todos los tamaños de cátodo.