Los cátodos para sputtering magnetrónico de RF de alta potencia pueden aplicarse con éxito en I+D y en aplicaciones de producción siempre que se incorporen criterios de diseño específicos en la construcción.
Los magnetrones circulares de RF de alta potencia se refrigeran directamente y están disponibles en diámetros exteriores de 2″-8″.
Debido a que la potencia de RF opera a una alta frecuencia, es vital que el cátodo de sputtering del magnetrón esté diseñado para refrenar esa potencia. Los magnetrones de RF de alta potencia de Angstrom Sciences están diseñados para suministrar energía de RF de manera uniforme a través de la superficie del objetivo, al tiempo que proporcionan una baja potencia reflejada y confinamiento de RF.
Los magnetrones de RF de alta potencia están disponibles en configuraciones circular y lineal.
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