Manómetro de vacío capacitivo con membrana SPG

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El SPG5A-6A es un vacuómetro de diafragma de capacitancia que utiliza un sensor de presión de capacitancia de zafiro para lograr una alta precisión y fiabilidad, un tamaño compacto y un peso ligero. Hay modelos de autocalentamiento y no autocalentamiento disponibles. El SPG5A/6A es especialmente adecuado para su uso en la fabricación de semiconductores. Características * - Utiliza un zafiro monocristalino para una excelente resistencia a la corrosión y a las altas temperaturas El material de zafiro monocristalino altamente resistente a la corrosión y al calor, con sensor de presión, también tiene excelentes características mecánicas. La medición capacitiva tiene una alta repetibilidad incluso cuando se utiliza a alta temperatura * - Medición de alta precisión La avanzada tecnología de procesamiento de señales contribuye a unas excelentes características de temperatura y a la linealidad de la medición * - Compacto y ligero Pequeño en tamaño y ligero en peso, gracias a la tecnología de micromecanizado * - Tiempo de calentamiento rápido y control estable de la temperatura del sensor El control digital PID basado en microprocesador proporciona un calentamiento rápido y una temperatura estable del sensor (modelos de autocalentamiento).