Placa calefactora de soldadura

de cerámicade precisiónde refrigeración

Las placas calientes cerámicas de nitruro de silicio pueden fabricarse con un diámetro exterior de 400 mm. Dentro de este diámetro es posible cualquier forma rectangular, formas personalizadas y aberturas. La altura típica de las placas es de 5 mm y, con un canal de refrigeración integrado, de unos 15 mm. Las propiedades especiales y la baja masa del material cerámico permiten velocidades de calentamiento rápidas, una distribución uniforme de la temperatura y una extraordinaria precisión en el control. En comparación con el metal, la superficie de la cerámica se mantiene plana debido a su baja expansión térmica, incluso cuando se trabaja con cambios rápidos de temperatura. La alta resistencia del nitruro de silicio prensado en caliente garantiza una elevada resistencia a la tensión (por ejemplo, con cargas de alta presión) y una excelente resistencia al desgaste. Las placas calientes son muy adecuadas para procesos exigentes en sistemas de procesamiento de semiconductores. Diseño personalizado Nuestros diseños propios hacen que cualquier modificación en el tamaño, la configuración o el rendimiento sea sencilla y cómoda. Se pueden añadir al diseño orificios para soportes de montaje y orificios para sensores de temperatura. También pueden añadirse ranuras de vacío cortadas con láser. Nuestras placas calefactoras ya vienen rectificadas de forma plana, aunque pueden rectificarse aún más hasta una planitud de < 10 μm para satisfacer requisitos específicos. Además, nuestro conductor de calentamiento cerámico con su diseño personalizado permite la integración de varias zonas de calentamiento. Se pueden incorporar fácilmente dispositivos para compensar la pérdida de calor y un cable de prueba interno para medir la temperatura. Para el funcionamiento en alto vacío hasta 1 000 °C puede suministrarse un contacto de pin. En varios proyectos de clientes hemos integrado una función de refrigeración que puede realizarse mediante un módulo de refrigeración con canales integrados.