Sensor de caudal másico térmico TFSC100

de aire

Los chips sensores térmicos de caudal modelo TFSC100 se han desarrollado para la fabricación de sensores de caudal (por ejemplo, los sensores de caudal TFS2100 de BCM SENSOR). Como no hay ninguna pieza móvil en el chip TFSC100, este chip sensor es adecuado para medir caudales bajos de aire o gases, y puede proporcionar señales estables y fiables a los sensores de caudal. La medición del caudal mediante este chip sensor se realiza gracias a un puente térmico que consta de cuatro resistencias térmicas para formar un circuito de puente de Wheatstone completo. Estas resistencias térmicas están fabricadas con una película de platino sobre el chip mediante un proceso MEMS. Gracias al diseño específico del circuito de medición, las características de las dos resistencias térmicas alejadas del calentador son las mismas que las de las otras dos cercanas al calentador. Esto permite que el chip sensor de caudal TFSC100 funcione como un chip sensor lineal. Para entender cómo funciona este chip sensor, se recomienda consultar los dos diagramas esquemáticos de la sección Principio de funcionamiento de esta ficha técnica. Aunque se pueden utilizar tanto alambres de oro como de aluminio para la unión de cables, se recomiendan más los alambres de oro. Esto se debe a que los alambres de oro pueden proporcionar a este chip sensor una mayor estabilidad y una mayor resistencia a la corrosión y a las condiciones de humedad cuando este chip sensor mide el medio de flujo. Para proteger este chip sensor, hay una capa de pasivación en la superficie superior del chip TFSC100, que le proporciona resistencia al polvo y a la humedad.