Máquina pulidora para metales POLI-762

de precisióncon mesa rotativamecánica

La POLI-762 es una pequeña máquina de pulido químico-mecánico de 12 pulgadas, que adopta el método de carga manual, puede equiparse opcionalmente con paleta de carga semiautomática, utiliza bolsa de aire de membrana para aumentar la presión de forma flexible, y puede equiparse con sistema de monitorización de la fuerza de fricción y del punto final de la temperatura, utilizada para el pulido de planarización de óxidos, metales, STI, SOI, MEMS y otros productos. Las aplicaciones son amplias. Funciones completas Poner la presión de la membrana en la oblea, la placa de pulido tiene un sistema de refrigeración incorporado. El vestidor de brazo giratorio, la función de control del punto final de detección de fricción y temperatura y el sistema de presurización en diferentes áreas es opcional. Operación simple Sistema de control de PC, control de pantalla táctil, paleta de carga semiautomática es opcional, pulido CMP automático de un botón. Buena compatibilidad 3 tuberías independientes de suministro de lodo, placa de pulido fácil de reemplazar, cabezal de pulido reemplazable de 4, 6, 8 y 12 pulgadas, compatible con diferentes tamaños y tipos de obleas. Pequeño espacio en el suelo Minimiza el espacio de la sala limpia.