Esta máquina es una máquina de limpieza de obleas totalmente automática, operada automáticamente por un manipulador en un entorno cerrado, tiene funciones de limpieza y secado, adecuada para la limpieza de diversos materiales de sustrato de semiconductores después del pulido, y puede reducir eficazmente la contaminación de partículas en la superficie de la oblea.
Funciones completas
Con la función de limpieza y secado, operado por un manipulador en un entorno cerrado, de bajo riesgo, la prevención de la contaminación secundaria.
Operación simple
Control de la pantalla táctil del PLC, el manipulador completa automáticamente el proceso de limpieza de obleas de casete a casete.
Buena compatibilidad
Compatible con obleas de 2, 4 y 6 pulgadas
Pequeño espacio en el suelo
Minimiza el espacio en el suelo de la sala blanca.
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