Máquina de limpieza de cepillo Cleaner series

automáticapara obleascon gran cadencia de trabajo

Estas máquinas de la serie son máquinas especiales de limpieza después de CMP de obleas. Tienen diferentes estructuras como el tipo de estación única, el tipo de índice y el tipo en línea, pueden ser utilizados en diferentes aplicaciones, la máquina de tipo en línea está equipada con un sistema de carga y descarga totalmente automático. Estas máquinas de la serie están equipadas con enjuague, cepillado de doble cara, limpieza megasónica, secado N2, funciones de centrifugado-secado de alta velocidad, alta integración, pequeño espacio para el pie, mojado y secado, adecuado para la limpieza de todo tipo de obleas después de CMP. Funciones completas Estas máquinas de la serie están equipadas con funciones de enjuague, cepillado de doble cara, limpieza megasónica, secado N2, centrifugado de alta velocidad. Operación simple Sistema PLC, control de pantalla táctil, cepillado y limpieza automáticos con un solo botón, la máquina de tipo en línea está equipada con un sistema de carga y descarga totalmente automático, "casete a casete" es más conveniente. Buena compatibilidad Compatible con obleas de 4 a 12 pulgadas cambiando el accesorio Pequeño espacio para los pies Minimiza el espacio para los pies en la sala limpia