Caudalímetro másico CS300 series

para líquidode acero inoxidableRS485

Sevenstar lanza la nueva generación CS300 MFC para la comercialización de semiconductores. Basado en la plataforma de tecnología CS, CS300 es la última generación diseñada especialmente para equipos IC de gran escala. CS300 MFC tiene el algoritmo de compensación de presión basado en DF, acabado superficial mejorado y especificación cumple con la norma SEMI, también 1.125" IGS W -seal e interfaz de sello C están disponibles. características 1. Alta precisión y respuesta rápida la precisión del CS300 MFC se ha mejorado hasta el ±0,8% de S.P., y los modelos más avanzados tienen un tiempo de respuesta inferior a 0,5 segundos. 2. Baja deriva de cero y coeficiente de temperatura la invención de una nueva tecnología de sensores permite al CS230 MFC mantener la estabilidad y soportar las fluctuaciones de temperatura. Sin un amplificador de cero automático, la deriva de cero esperada es inferior al 0,6%F.S./año, y el coeficiente de temperatura es inferior al 0,02%F.S./℃(cero)，0,05%F.S./℃ (span). 3. Modelos con sellado metálico y alta pureza el proceso especial de superficie metálica se aplica en CS300. se utiliza acero inoxidable 316 VV y la rugosidad puede ser inferior a 5 RA que es requerido por las normas semi. 4. Interfaces compatibles el CS300 MFC es compatible con las siguientes interfaces, que pueden ser seleccionadas por el cliente:±8V-±16V fuente de alimentación de doble extremo y +14V-+28V fuente de alimentación de un solo extremo; entrada y salida de señal digital o analógica; SEMI dimensiones mecánicas estándar; y RS-485 o DeviceNetTM módulo de comunicaciones. 5. Funciones varias el potente software para el cliente viene de serie con cada modelo, mientras que las funciones adicionales como multigas, multirrango, autocero, alarmas, arranque suave y retardo están disponibles como selecciones del cliente.