1.Achieve que dispensa, película viscosa, pegajosa, colocación, oblea pegajosa, empaquetado invertido, Gaas, control de presión adhesivo, alta precisión.
la plataforma del movimiento de aire de la ultra-precisión 2.Use, el sistema principal X, eje de Y utilizar un codificador linear de alta resolución con la presión cero, sistema sin fricción totalmente sin contacto del flotador del aire, escala del codificador puede alcanzar a la exactitud 0.02um, puede alcanzar de alta velocidad, precisión, colocación del sub-micrón-nivel
plataforma de alta velocidad integrada de los deportes del granito del uso del diseño de la plataforma 3.The de la alta estabilidad, de modo que T8W en asegurar estabilidad termal y estabilidad mecánica y alcanzar hora de salida de alta velocidad y +-1,5 um e incluso una mejor exactitud del remiendo al mismo tiempo, para cumplir los requisitos de uso de la alta precisión.
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