El sistema de monitorización en línea del entorno limpio FMS consta principalmente de cinco partes principales: sensor de medición, sistema de control de la bomba de vacío, armario de red, sistema de alarma y software de monitorización del ordenador superior, que puede realizar la monitorización en tiempo real de la limpieza, la temperatura y la humedad, la presión diferencial, la velocidad del viento y otros parámetros en la sala limpia, y funciones completas de almacenamiento y gestión de datos.
Durante el proceso de producción, las condiciones del entorno suelen cambiar constantemente, y la monitorización manual no puede proporcionar datos de monitorización continua, por lo que es imposible estimar cuándo el sistema se desvía de las condiciones de trabajo especificadas, y mucho menos la calidad del producto. El sistema de monitorización en línea del entorno limpio evita esta deficiencia de la monitorización manual mediante la instalación de múltiples sensores remotos de partículas en varios puntos, donde los sensores miden en tiempo real y transmiten los resultados de las mediciones a un ordenador. Las sondas correspondientes miden la temperatura, la humedad y la presión diferencial, la velocidad del viento, el recuento de bacterias flotantes, etc
2. Sensibilidad: 0,3μm
3. Dos canales: 0.5μm, 5.0μm (opcional 0.3μm, 0.5μm)
4. Visualización de datos: LCD de datos en tiempo real in situ / sin pantalla
5. Modo de comunicación: protocolo estándar Modbus-TCP, Modbus-RTU o salida analógica 0-5V, 4-20mA
6.Caudal de muestreo: 2,83L/min o 28,3L/min
7. Eficiencia de recuento: 50%@0.3μm (de acuerdo con JIS)
8. Error de caudal: ±5%
9. Concentración de muestreo grande permitida: 35000pcs / L
10.Fuente de luz: diodo láser
11.Fuente de vacío: bomba de aire incorporada / bomba de aire externa
12.Carcasa de aleación de aluminio + caja protectora de acero inoxidable
13.Fuente de alimentación: 220V±10%, 50Hz±2Hz
---