Estabilidad a largo plazo demostrada. Rendimiento ultrapuro para aplicaciones de alta presión.
los controladores de caudal másico con sellado metálico de la serie 5850EM miden y controlan los flujos de gas a alta presión en entornos ultralimpios con una estabilidad probada basada en el rendimiento de los MFC de las series 5850E e i, ampliamente utilizados. Su construcción sellada metálica y sus superficies húmedas electropulidas garantizan una integridad de flujo excepcional y ayudan a mejorar la eficiencia general del proceso al eliminar la necesidad de monitorizar y reajustar continuamente las presiones de gas para proporcionar un flujo de gas estable.
Características
- Estabilidad a cero a largo plazo de <0,2% de la escala completa al año
- Tiempo de establecimiento de <3 segundos para cambios de comando con sobreimpulso/impulso negativo insignificantes
- Acabado interno de proceso mejorado opcional - 5µ pulgadas Ra promedio
- Sensor de caudal extraíble
- Insensible a la posición de montaje
- Compatible mecánica y eléctricamente con otros controladores de caudal másico
- Función de "válvula apagada" y purga compatible con TTL
Ventajas
El paso de flujo totalmente metálico mejora la pureza del gas y reduce las fugas
Estabilidad y precisión probadas a largo plazo en una amplia gama de procesos y aplicaciones
Excelente retorno de la inversión gracias a un rendimiento fiable
El sensor de caudal extraíble elimina la necesidad de monitorizar y reajustar continuamente las presiones de gas
Fácil instalación y mantenimiento con entradas/salidas sólo analógicas
Aplicaciones
Fibra óptica
LED / MOCVD
Semiconductores
Solar
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