Paso de flujo de alta pureza. Repetibilidad, estabilidad y tiempo de respuesta superiores.
El modelo SLA7840 de Brooks es un instrumento metálico sellado de alta pureza que controla la presión mientras mide el caudal. Una señal del transductor de presión remoto, junto con la electrónica de control PID integral ajustable y una válvula de control coplanar, mantiene la presión de ajuste deseada. La válvula coplanar reduce la sensibilidad a las variaciones de presión y ofrece menores tasas de fuga en comparación con otros controladores de metal sellado, lo que garantiza un proceso más estable a lo largo del tiempo.
Características
- Transductor de presión integrado
- Tiempo de respuesta <1 segundo
- Amplio rango de medición de caudal con caudales a escala completa de 0 - 3 sccm a 0 - 30.000 sccm
- Presión máxima de 500 psig
- Paso de flujo con sello totalmente metálico: acabado superficial máximo de 32µ pulgadas Ra
- La válvula coplanar ofrece menores tasas de fuga
- La capacidad multigas/multirrango permite almacenar y preprogramar hasta 10 calibraciones y rangos de gas en un solo dispositivo
- Opciones de comunicación analógica y DeviceNet
Beneficios
- El mayor rango de control de la válvula coplanar reduce la sensibilidad a las variaciones de presión en el proceso, garantizando un proceso más estable a lo largo del tiempo
- Paso de flujo totalmente metálico para mantener las condiciones del proceso libres de partículas, humedad y contaminación
- El dispositivo también puede configurarse como controlador de flujo másico para fines de calibración o prueba
- La capacidad multigas/multirrango reduce el inventario
- El mayor rango de control proporcionado por la válvula coplanar disminuye el número de piezas necesarias para controlar el proceso
- El tamaño compacto y el ahorro de espacio hacen que sea fácil de adaptar
La comunicación digital facilita la puesta en marcha y reduce el cableado del sistema
---