Regulador de caudal másico GF1 series

para gas

Mejorada con la velocidad de EtherCAT Rendimiento perfeccionado para procesos de semiconductores - Los diagnósticos integrados aprovechan las capacidades de adquisición de datos EtherCAT® en tiempo real - El sensor de caudal ultraestable (≤ 0,15% de deriva de P.S. al año) permite una mayor precisión del punto de ajuste bajo y reduce los requisitos de mantenimiento - El apagado mejorado de la válvula (≤ 0,15% del rango bin) reduce la fuga de la válvula para reducir los efectos de la primera oblea - La insensibilidad a los transitorios de presión recientemente mejorada reduce la sensibilidad de diafonía para una entrega de flujo másico consistente Características - Estabilidad a cero a largo plazo de <±0,15% de la escala completa al año - Tiempos de establecimiento 300 ms - <1 segundo - Paso de caudal con junta totalmente metálica: opción de acabado superficial Ra de 5µ o 10µ pulgadas - El sensor Hastelloy® T-Rise resistente a la corrosión mejora la reproducibilidad de las mediciones a temperaturas elevadas - Programabilidad de gas y rango MultiFloTM: un dispositivo, miles de tipos de gas y combinaciones de rango sin necesidad de retirar la MFC de la línea de gas ni comprometer la precisión - La cómoda pantalla de usuario y el puerto de diagnóstico/servicio independiente facilitan la instalación, supervisión y solución de problemas del dispositivo El GF120 Safe Delivery System (SDS®) es el controlador de flujo másico de baja caída de presión más avanzado de Brooks para el suministro de gases de sistema de suministro seguro (SDS) subatmosféricos utilizados en procesos de implante y grabado