Controlador de presión de gas PC series

de caudalde precisión

Precisión bajo presión. Precisión bajo control. Los controladores y medidores de presión de la serie PC100 combinan una serie de características tecnológicas de alto rendimiento para ofrecer un nuevo nivel de precisión y fiabilidad en el control de la presión para los exigentes procesos de fabricación de semiconductores, deposición de vapor y otros procesos ultraprecisos. Basada en la tecnología probada del controlador de flujo másico Brooks GF100, la serie PC100 cuenta con una trayectoria de flujo totalmente metálica de gran pureza, una tecnología de sensor mejorada diseñada específicamente para eliminar la deriva del sensor y una interfaz de usuario y una capacidad de diagnóstico del dispositivo que facilitan enormemente la evaluación del dispositivo y la resolución de problemas, lo que se traduce en una interrupción limitada del servicio y un menor tiempo de inactividad. Características - Tiempo de respuesta <1 segundo - Caudal a escala completa de hasta 10 slm - Rango de presión del transductor: 1000 Torr FS - Paso de flujo con sello totalmente metálico: acabado superficial de 5µ pulgadas Ra - El PC125 con caudalímetro incorporado incluye un sensor de caudal Hastelloy® C-22 altamente resistente a la corrosión combinado con un procesador ARM de alta velocidad - Conjunto de válvulas sin diafragma de acción rápida - Pantalla LCD de alta visibilidad con botón de fácil acceso para la indicación local de caudal, temperatura y dirección de red - Puerto de diagnóstico/servicio independiente - Protocolo DeviceNet™ Beneficios Los componentes de alto rendimiento permiten una respuesta y un tiempo de ajuste rápidos para mejorar el control de la presión Reducción del consumo de gas desviado y de los costes de reducción asociados La vía de flujo húmeda totalmente metálica y resistente a la corrosión que cumple con la norma SEMI F20, con una superficie general reducida y volúmenes no barridos, garantiza un secado más rápido durante los pasos de purga La estabilidad del dispositivo del sensor térmico o de presión a largo plazo maximiza el rendimiento y la producción