Medidores compactos y probados sin calefacción para una medición de vacío rentable.
Los manómetros de capacitancia de la serie CMC de Brooks Instrument ofrecen una medición de vacío fiable y precisa en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento, proporcionando una alternativa económica a los manómetros sin calefacción de mayor tamaño. Su diseño compacto y su rendimiento probado lo convierten en una actualización ideal para las herramientas existentes que necesitan un manómetro de tamaño reducido.
El funcionamiento fiable y repetible está garantizado incluso en los procesos más agresivos gracias al diseño totalmente soldado y a las superficies húmedas de Iconel®. La combinación de componentes de precisión y un amplio rango de funcionamiento con compensación de temperatura permite a Brooks ofrecer los mejores coeficientes de temperatura de cero y de intervalo para una estabilidad de medición óptima
Características
- Disponible para rangos de proceso de 10 Torr a 1000 Torr
- Dos niveles de precisión disponibles: 0.25% o 0,50% de la lectura (opcional)
- Rendimiento excepcional en una amplia gama de temperaturas de funcionamiento
- Un 40% más pequeño que los manómetros tradicionales de capacitancia sin calefacción
- Construcción totalmente soldada y superficies húmedas de Inconel
Beneficios
- La calibración de alta precisión opcional iguala la precisión de los manómetros sin calefacción más costosos
- Los mejores coeficientes de temperatura de cero y de intervalo de su clase
- El diseño que ahorra espacio ayuda a encajar el dispositivo en espacios reducidos de la máquina
- Óptima repetibilidad de las mediciones en comparación con otros diseños que son propensos a las tensiones internas que inducen errores
Aplicaciones
Fabricación de semiconductores
Procesos de deposición de capas finas: vidrio, bandas y revestimientos ópticos
Liofilización de materiales perecederos
Recubrimientos de alta tecnología para instrumentos médicos (instrumentos quirúrgicos, fresas dentales, etc.)
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