Caudalímetro másico térmico 9861

másicopara gasde acero inoxidable

los controladores y medidores de caudal másico (MFC) de alta temperatura están diseñados para controlar y medir el caudal másico de vapor procedente de fuentes líquidas o sólidas para apoyar el creciente uso de estos precursores en los procesos de fabricación de semiconductores. El módulo de flujo del GF120xHT puede soportar entornos operativos de hasta 150°C. Para soportar este rango de temperaturas, la electrónica está conectada remotamente al resto del dispositivo y montada en un lugar de menor temperatura (máx. 50°C). La electrónica remota puede montarse en DIN con una selección de tres longitudes de cable de interconexión diferentes: 3 pies, 8 pies y 16,5 pies estándar. La amplia gama de protocolos de comunicación y opciones de montaje hacen del GF120xHT una opción ideal para los equipos de proceso de nueva generación y para actualizar las MFC calefactadas heredadas. Características Diseñado para aplicaciones de alta temperatura de hasta 150°C El cómodo puerto de servicio proporciona acceso a diagnósticos a través de una interfaz fácil de usar Sensor de Hastelloy resistente a la corrosión Calibrado según las condiciones de proceso del cliente Ventajas Capacidad para admitir aplicaciones de hasta 150 °C para el suministro de vapor de precursor líquido Interfaz de diagnóstico fácil de usar que ayuda al ingeniero de procesos a garantizar que la MFC funciona dentro de los límites especificados para obtener un alto rendimiento y el máximo tiempo de actividad Proporciona una estabilidad inigualable del sensor a largo plazo para un rendimiento y una producción máximos Calibrado a la temperatura y presión de funcionamiento del cliente para un rendimiento óptimo