Establezca nuevos estándares con el transductor VersaTorr BVT200/225 Series Pirani. Se trata de una solución de medición de amplio rango todo en uno para una amplia selección de aplicaciones de vacío. Se diferencia de cualquier otro vacuómetro por ofrecer una medición global rentable e independiente del gas desde 5,0E-3 hasta 1333 mbar en combinación con la medición hasta 1E-6 mbar mediante el uso del principio de pérdida de calor.
En las aplicaciones de vacío en las que la composición o el tipo de gas pueden cambiar, los manómetros Pirani tradicionales dependientes del gas darán lugar a una desviación de la presión real. El transductor Tri-Sensor utiliza un sensor de precisión de diafragma capacitivo (CDG) que elimina la dependencia del gas y proporciona mediciones precisas incluso cuando las propiedades del gas cambian.
El sensor MEMS Pirani de pérdida de calor integrado amplía el rango de medición hasta 1E-6 mbar y proporciona un novedoso ajuste automático del cero del manómetro de capacitancia que elimina las necesidades habituales de ajuste manual del cero de los medidores de diafragma de capacitancia tradicionales.
Características y ventajas
Rango de medición ultra amplio de 9 décadas
El diafragma de capacitancia añade una mayor precisión al 0,5% a través del rango de bajo vacío
6 décadas de medición independiente del gas desde 5E-3 hasta 1333 mbar
Puesta a cero automática del manómetro de capacitancia
Sensor de temperatura de vacío para el diagnóstico
Aplicaciones
Esclusas de carga
Cámaras de transferencia
Líneas de avance
Líneas de desbaste al vacío
Procesamiento de películas finas
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