Máquina de deposición PVD HELIOS series

por pulverización catódica con magnetrónde película finapara la optoelectrónica

La serie HELIOS de Bühler Leybold Optics es una plataforma flexible para recubrir con película delgada de forma rápida, precisa y completamente automatizada. Está diseñada especialmente para realizar recubrimientos ópticos de alta calidad mediante diseños de filtros sofisticados, que además se logran con un alto rendimiento. Unas capas extremadamente densas, suaves, estequiométricas y amorfas son el resultado de un rendimiento inigualable. El sistema de monitorización óptica controla el grosor de capa con máxima precisión directamente sobre el sustrato, in situ. Excelente productividad y calidad de capa La última tecnología en sputtering magnetrón reactivo asistido por plasma (PARMS) permite depositar recubrimientos dieléctricos de materiales diana metálicos mediante fuente de plasma de radiofrecuencia (RF), logra una elevada tasa de deposición y alta productividad, y sus productos son de la mejor calidad, con una elevada precisión a escala atómica. En cada rotación, el magnetrón dual seleccionado deposita una delgada capa de óxido subestequiométrica, que se transfiere a una capa de óxido no absorbente pasando por el plasma de oxígeno de la fuente RF. Este método garantiza las mínimas pérdidas y ofrece unos resultados estequiométricos perfectos, incluso en sputtering de dianas de metal.