Máquina de deposición PE-CVD DynaLine

por pulverización catódica con magnetrónde película metalizadade vacío

El DynaLine de Leybold la Optics es una máquina en línea modular completamente automatizada de la farfulla con la productividad más alta para la industria del automóvil. Debido a su concepto modular, la máquina se puede ser integrada en sistemas de transportador completamente automatizados y modificar para requisitos particulares a las configuraciones específicas. Los substratos se cargan sobre un portador y se procesan posteriormente vía procesos estáticos de la deposición. Los sistemas de bombeo de gran eficacia, una impulsión robusta del portador y los sistemas exactos de la cerradura del vacío son otras características de esta máquina. Altos gracias de la productividad al portador integración-capaz del substrato - El DynaLine ofrece la productividad a nivel superior para la industria del automóvil, hecha posible por una configuración del substrato-portador que pueda ser integrada en un sistema de transportador completamente automatizado. Gracias flexibles de configuración de sistema al concepto modular - El DynaLine se diseña con un concepto modular para la configuración flexible. Este diseño particular permite a usuarios ampliar sin esfuerzo el sistema con los compartimientos adicionales. La integración de un compartimiento del nuevo proceso es posible incluso después un período de varios años. La tecnología avanzada de la deposición ofrece flexibilidad excelente de la capa - El magnetrón farfulla la deposición con interpola la blanco (IPT) para la deposición de la alto-tarifa de metales y la deposición de vapor químico plasma-realzada avanzada de la frecuencia media (frecuencia intermedia) (PECVD) para la deposición de la forma del abrigo del siloxano la espina dorsal del sistema, ofreciendo una variedad de posibilidades de la capa.