Máquina de deposición PE-CVD DynaJet

PVDpor pulverización catódicade película metalizada

El DynaJet es el más nuevo miembro de la familia de Dyna de metalizar sistemas. Este sistema de la farfulla del lote combina el mejor de toda la experiencia física Bühler de la deposición de vapor (PVD) tiene que ofrecer. Los cátodos rotativos proporcionan una nueva dimensión en productividad. La alta utilización de la blanco ofrece más barato de la propiedad debido a un curso de la vida largo de la blanco. El sistema de bomba turbomolecular (TMP) necesita solamente una parte de la energía eléctrica y del agua de enfriamiento requeridos por los sistemas convencionales. Todo el esto da lugar a una reducción significativa de los costes anuales de la propiedad. Curso de la vida largo y gracias rápidos del intercambio de la blanco al diseño innovador - El nuevo diseño de la blanco ofrece una utilización de la blanco de 70- 80% con respecto a la versión previa, que ofreció la utilización del apenas 25%. Además, el diseño rotativo del cátodo puede aumentar curso de la vida de la blanco tanto como cuatro veces. Los procesos aumentados proporcionan la capa de alta velocidad y la mejor homogeneidad de PVD - El cátodo rotativo largo y la garantía optimizada de la cryo-bobina la mejor homogeneidad de PVD. Un semitransparente farfulla capa es otro uso posible. La gestión optimizada del arco de Bühler asegura un proceso estable de la farfulla. Novedades en el proceso plasma-aumentado de la deposición de vapor químico (PECVD) permitir la top-capa de alta velocidad. Otro elemento clave es el sistema de bombeo de tres fases eficiente del pre-vacío. El nuevo sistema de bomba ofrece rendimiento energético excelente - El consumo de energía media es un aspecto importante del coste de la propiedad. El nuevo sistema de bomba del DynaJet con TMP ahorra 800000 kW/h en 10 años con respecto a otras máquinas en el mercado.