Máquina de deposición PVD SYRUSpro series

asistida mediante haz de ionesde película finapara la optoelectrónica

La serie SYRUSpro de Bühler Leybold Optics es una plataforma líder en la industria en la producción en serie con alta precisión y altos niveles de rendimiento de recubrimientos ópticos para óptica de precisión. Los aplicadores SYRUSpro son ideales para aplicaciones desde el ultravioleta profundo (DUV), pasando por el espectro visible (VIS), hasta el rango espectral de infrarrojos (IR). La variedad de revestimientos abarca filtros de borde (de paso corto y largo), filtros atenuadores UV-IR, filtros supresores y filtros de paso de banda estrecha, filtros dicroicos de color y divisores de haz de polarización, revestimientos AR y HR para láseres y muchos más. Cada SYRUSpro está equipado según las necesidades del cliente con un gran número de componentes patentados y estandarizados de Bühler Leybold Optics. Esto permite una actualización sencilla para adaptarse a los crecientes requisitos del proceso. Además, el vanguardista sistema de control de procesos de Bühler Leybold Optics combina una alta flexibilidad de programación con los máximos niveles de automatización. Todos estos atributos se combinan para ofrecer cifras muy precisas, de alto rendimiento y alto rendimiento para la producción ininterrumpida de filtros ópticos en volumen las 24 horas del día, los 7 días de la semana. Diferentes tamaños de cámara para una máxima flexibilidad Los cuerpos de lacado SYRUSpro están disponibles en ocho tamaños de cámara diferentes con diámetros interiores de entre 710 mm y 2810 mm. Esto significa que podemos ofrecer una cámara correspondiente que se adapte perfectamente a las capacidades de carga y a los tamaños de sustrato definidos por nuestros clientes. Por ejemplo, nuestras cámaras de 1950-mm o 2810-mm son plataformas ideales para sustratos de tamaños extremos.