Máquina de deposición PVD NESSY series

por pulverización catódica con magnetrónde película finade vacío

La serie NESSY es un sistema de bombardeo magnético de última generación de Bühler Leybold Optics. Se dedica a la producción de recubrimientos de espejos ultravioleta extremo (EUV) bajo condiciones de ultra-vacío (UHV) y está diseñado para la producción en serie así como para el desarrollo de nuevos productos. Los aplicadores NESSY pueden equiparse con hasta seis cátodos rectangulares diferentes y pueden utilizar molibdeno y silicio, junto con otros materiales que son esenciales para lograr un recubrimiento espejo completo. Como resultado, se puede realizar una pila completa de recubrimientos en un solo ciclo. Aplicaciones revolucionarias con una torre de laca adecuada para el futuro Los espejos multicapa de silicio y molibdeno con una reflectancia máxima a una longitud de onda de 13,5 nm se han convertido en un clásico de la tecnología de reflexión. Estos espejos son indispensables como espejos condensadores o proyectores en equipos de litografía de última generación Además de la litografía EUV, los espejos de interferencia multicapa pueden utilizarse en dispositivos de medición de rayos X, óptica de radiación de sincrotrón y otras aplicaciones científicas sofisticadas. La amplia variedad de sustratos complejos hace de NESSY la elección perfecta para el desarrollo de nuevas aplicaciones y componentes.