Máquina de deposición PE-CVD PylonMet

por pulverización catódica con magnetrónde película metalizadade vacío

La óptica PylonMet de Leybold es un sistema por lotes de la farfulla del magnetrón del alto-rendimiento de procesamiento flexible y versátil para la capa de piezas tridimensionales. El concepto de la máquina permite una configuración flexible y un despliegue versátil en una gama de usos amplia. Esto incluye reactivo y el magnetrón non-reactive farfulla la deposición con interpola las blancos (IPT). La fuente plasma-realzada avanzada de la deposición de vapor químico de la frecuencia media (frecuencia intermedia) (PECVD) permite la deposición de abrigos transparentes y realzado limpiar-resista las capas. El sistema de bombeo eficiente del vacío, incluyendo un eficaz cryo-arrolla el sistema y un sistema flexible de la proceso-gas-gerencia, es otros elementos claves. Configuración flexible para la flexibilidad excelente de la capa - La configuración flexible del PylonMet hace conveniente para el uso con una variedad de materiales de la farfulla, incluyendo el aluminio, el cromo, el acero inoxidable, el cobre, la plata y muchas otras. Produce diversos colores en dos y partes tridimensionales en la producción de 24 horas. El del más alto nivel de la capacidad de repetición asegura calidad constante. Altos gracias de la productividad y de la confiabilidad al eslabón-tipo puerta principal y de fácil acceso - El eslabón-tipo puerta principal permite el proceso y la carga altamente productivos/que descarga secuencias. Los substratos se cargan a un pilón del fácil-a-acceso, u opcionalmente, a un sistema del planetario-substrato-accesorio. La opción automática del cargamento y de la descarga es factor clave en la alta confiabilidad del sistema.