Espectrómetro de masa IMS 7f-Auto

de masas de iones secundariaspara la industria de los semiconductoresPMT

Herramienta SIMS versátil: Sensibilidad de detección de referencia con alto rendimiento y automatización completa El IMS 7f-Auto es la versión más reciente de nuestra exitosa línea de productos de Espectrómetro de masa de iones secundarios (SIMS) IMS xf. Diseñado para entregar análisis elementales e isotópicos de alta precisión con mayor facilidad de uso y productividad, ha sido optimizado para aplicaciones desafiantes como cristal, metales, cerámica, dispositivos basados en Si, III-V y II-VI, materiales a granel, películas delgadas ... que cumplen los requisitos de la industria para el desarrollo eficiente de dispositivos y el control de procesos. Características analíticas clave para resolver una amplia gama de problemas analíticos El IMS 7f-Auto ofrece capacidades de perfilado de profundidad incomparables con alta resolución de profundidad y alto rango dinámico. El espectrómetro de masa de alta transmisión se combina con dos fuentes reactivas de iones de alta densidad, O2+ y Cs+, proporcionando así una alta tasa de pulverización y excelentes límites de detección. Un diseño óptico único permite tanto la microscopía de iones directa como la exploración de imágenes de microsonda. Mejora de la automatización y la eficiencia operativa El IMS 7f-Auto está equipado con una columna principal en línea rediseñada para facilitar y agilizar el ajuste del haz primario y la estabilidad optimizada de la corriente del haz primario. Las nuevas rutinas automatizadas minimizan los sesgos relacionados con el operador y mejoran la facilidad de uso.