En cualquier superficie en la que se haya especificado una planitud excelente inferior a 100 micras, existen en el mercado sistemas ópticos de inspección del eje Z que utilizan una mesa XY. Estos sistemas tienen un precio de catálogo elevado (alrededor de 30.000 dólares), sobre todo si el tamaño de la pieza es superior a 300 mm.
Generalmente, en la fabricación, después del rectificado, la superficie está bien definida de forma repetible y puede que no sea necesaria una inspección al 100%. La aplicación de una placa de inspección de planitud multipunto con 32 puntos dispuestos espacialmente para acentuar la desviación máxima conocida de un plano perfecto permite una solución mucho más económica, pero con un resultado de planitud espacial del 90%. Aplicando una solución de multiplexación de sensores sin contacto a una matriz de sensores bien colocada y utilizando la aplicación de software Capacitec Bargrafx™ de 16 a 32 puntos, puede obtener sus perfiles de planitud a mitad de precio.
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