Feturas
* - Escáner 3D de microprofundidad
* - Medición metrológica de alta velocidad/sin contacto
* - Análisis de superficies
* - No transparente/transparente
Aplicaciones,
* Panel táctil / Panel solar / Oblea
* - Micro Electro Mecánica (MEMS)
* - Circuito impreso de alta densidad
* - Paquete de CI
* - Variedad de funciones de medición: contorno de microestructura, tamaño, profundidad de holc, espesor de película de falla, diferencia de luz, ángulo, rugosidad, planicidad
-Cómo funciona-
La luz blanca es de corta duración -
Las mejores franjas de interferencia sólo se producen En la posición de enfoque, se excluyen las interferencias causadas por la luz desenfocada y la luz parásita, y la posición de la mejor franja de interferencia se registra con la "cámara CCD de tipo superficial de alta velocidad". No es necesario el escaneo punto por punto, y el "escáner vertical" se utiliza para mover la lente del objetivo para registrar la posición de altura., se puede reproducir la topografía de la superficie en 3D del objeto de medición.
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