APLICACIONES:
Procesos de limpieza de obleas de semiconductores (banco húmedo)
Calentamiento de disolventes de eliminación de fotorresistencia
Calentamiento de agua DI para el enjuague de obleas
Calentamiento de aire y nitrógeno para el secado de obleas
Calentamiento de ácidos, IPA, Piraña, NMP, etc.
Para uso en sistemas de un solo paso o de recirculación
CARACTERÍSTICAS Y VENTAJAS:
La ruta del fluido no tiene contacto con los elementos de calentamiento
El medio está aislado en el tubo de flujo de PFA (Teflon®) (calentamiento de alta pureza)
Permite el calentamiento seguro de líquidos y gases peligrosos
El Flow-Tube es seguro para su uso con muchos disolventes cáusticos
El Flow-Tube es reemplazable en el campo (no se necesita llamar al servicio técnico)
Compatible con controles estándar (PID, PLC, Multi-Loop, etc.)
El cuerpo está recubierto de Teflon® para una máxima limpieza
Tubos de flujo autodrenantes y elementos calefactores de larga duración
ESPECIFICACIONES:
Potencia:
1.De 5 kW totales a 4,5 kW totales
Rango de tensión: 120 - 415 V
Corriente máxima de línea: 30 A por circuito
Tubería:
.375" OD (3/8") (9,52 mm)
.031" Pared (.80 mm)
Longitud total del tubo de proceso: 190" (4826 mm)
PFA (PerFluoroAlkoxy) / Teflon® (estándar)
PFA de alta pureza (mejora opcional)
Presión máxima: 70 psi (4,82 bar)
Cuerpo:
Aluminio con revestimiento protector de Teflon® negro
Carcasas:
NEMA 7 (a prueba de explosiones)
Temperaturas máximas de trabajo:
392°F (200°C)
Sensores:
Termopares tipo K o J estándar (cant. 3)
1 para control de procesos
1 para protección de alto límite
1 para la protección de la temperatura del tubo
Accesorios disponibles:
Cubiertas aislantes
Racores de unión rectos
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