Máquina de medición de rugosidad WD4200

de espesorópticaautomática

El sistema de inspección 3D de obleas sin patrón de la serie WD4000 puede medir automáticamente el grosor de la oblea, la rugosidad de la superficie y la microtopografía 3D micro-nano a la vez. Utiliza sondas confocales de luz blanca para medir el espesor de la oblea, TTV, LTV, BOW, WARP, rugosidad de la línea; utiliza sonda de interferometría de luz blanca para escanear la superficie de la oblea para crear una imagen de perfil 3D de la superficie , a continuación, analizar la rugosidad y los parámetros 2D y 3D pertinentes de acuerdo con las normas ISO / ASME / EUR / GBT. La forma 3D basada en las superficies superior e inferior de la oblea se reconstruye mediante medición sin contacto. El potente software de medición y análisis garantiza el cálculo estable del espesor, la rugosidad y la variación del espesor total (TTV) de la oblea.