Sistema de inspección óptico Phoenix Ultima

3D2Dde barrido

Phoenix Ultima, el sistema AOI de última generación de CIMS, está diseñado para la fabricación de grandes volúmenes de sustratos de CI. Es capaz de escanear hasta 4 µm de ancho de línea/espacio. La tecnología óptica de vanguardia del sistema Prisma™ está diseñada para proporcionar una cobertura de luz flexible con el máximo contraste con el fin de apoyar la adquisición de imágenes de alta resolución a alta velocidad de escaneo. El rendimiento optimizado se consigue combinando una imagen nítida de alta resolución con algoritmos de detección personalizables. Equipada con la adquisición de imágenes más avanzada y funciones de software avanzadas, la familia de productos Phoenix es conocida por su excepcional detección con la tasa más baja posible de falsas llamadas. Phoenix Ultima funciona con Spark™, un innovador motor de detección multiplataforma. Aspectos destacados -Motores lineales para un movimiento suave y silencioso -Estructura mecánica robusta -Mesa de vacío automatizada -Firmware de procesamiento de imágenes de alto rendimiento -Ordenador de última generación para procesar grandes volúmenes de datos -Configuración rápida e intuitiva para nuevos trabajos -Compatible con automatización AMHS frontal/trasera o robot Opciones -Fi - opción de inspección final para tableros acabados +2DM metrology - medición de las dimensiones de los paneles +2CD metrology - Medición 2D de elementos de circuito +3DH metrology - medición 3D de la altura de los elementos del circuito +3DP metrología - perfilado 3D del elemento de circuito -LDI - opción de inspección por taladro láser -CDB/CDBIC - clasificación de defectos y mapeo virtual de defectos -VVS - Sistema de verificación virtual