Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo HEM6000

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Microscopio electrónico de barrido de alta velocidad para la obtención de imágenes a escala transversal de muestras de gran volumen CIQTEK HEM6000 cuenta con tecnologías como el cañón de electrones de corriente de haz largo y alto brillo, el sistema de desviación del haz de electrones de alta velocidad, la deceleración de la platina de muestra de alto voltaje, el eje óptico dinámico y la lente de objetivo combinada electromagnética y electrostática de inmersión para lograr una adquisición de imágenes de alta velocidad a la vez que se garantiza una resolución a escala nanométrica. El proceso de funcionamiento automatizado está diseñado para aplicaciones tales como un flujo de trabajo de obtención de imágenes de alta resolución de gran área más eficiente e inteligente. La velocidad de adquisición de imágenes puede llegar a ser más de 5 veces superior a la de un microscopio electrónico de barrido de emisión de campo (fesem) convencional. 1. Velocidad de adquisición de imágenes：10 ns/píxel，2*100 M píxel/s 2. Resolución：1,3 nm@3 kV, SE; 1,5 nm@1 kV, SE，0,9 nm@ 30 kV, STEM 3. Tensión de aceleración：0,1 kV~6 kV (modo de desaceleración)，6 kV~30 kV (modo sin desaceleración) 4. Campo de visión：Máximo 1*1 mm2，alta resolución distorsión mínima 64*64 um2 5. Repetibilidad de la platina：X ±0,6 um，Y ±0,3 um 6. Sistema de filtrado de electrones de señal：SE/BSE conmutación sin señal, mezcla con relación ajustable 7. Sistema de desviación del haz de alta velocidad totalmente electrostático：Posibilidad de obtener imágenes de campo grande de alta resolución Máximo. Campo de visión de hasta 32um*32 um a 4 nm por píxel 8. Tecnología de desaceleración de la etapa de muestra：Reducción de la tensión de aterrizaje de electrones incidentes, lo que aumenta la eficiencia de captura de electrones de señal 9.Sistema de desviación del haz de la lente del objetivo de inmersión combinada electromagnética y electrostática：El campo magnético de la lente del objetivo sumerge la muestra, lo que contribuye a la obtención de imágenes de alta resolución con baja aberración