Sistema láser excímero LineBeam

pulsadode estado sólidoultravioleta

Los sistemas LineBeam son la tecnología óptica que permite la fabricación masiva de placas base LTPS en grandes paneles de sustrato con el máximo rendimiento. Proporcionan perfiles de haz lineal de hasta 1.500 mm de longitud para paneles de hasta Gen 10,5. Homogeneidad del haz en los ejes corto y largo para obtener el máximo rendimiento y aprovechamiento del haz. La estabilidad superior del pulso y la gran profundidad de campo garantizan una amplia ventana de proceso. LINEBEAM - ALGUNAS MÉTRICAS CLAVE DE RENDIMIENTO Benefíciese del perfil de haz de sombrero de copa de LineBeam, con una excelente homogeneidad en los ejes corto y largo, todo ello a una longitud de onda corta de 308 nm o 355 nm.