Aparato de medición de planitud Tropel® UltraFlat 200

óptico

El sistema de mascarilla Tropel® UltraFlatTM 200 fue diseñado específicamente para la industria de la fotomáscara. Proporciona la menor incertidumbre de medición para las especificaciones de planitud de la máscara que nunca se han apretado. Las características del dispositivo de encogimiento requieren no sólo obleas más planas, sino también máscaras más planas. El sistema UltraFlatTM se utiliza para medir la planitud de los fotoblancos y fotomáscaras en todas las etapas de fabricación y uso, incluyendo el pulido del sustrato, el recubrimiento y los patrones para analizar el estrés de la película y la verificación. El sistema UltraFlatTM utiliza interferometría de incidencia casi normal, diseño estructural sólido como una roca, técnicas de fabricación óptica de última generación y el renombrado software de análisis de cambio de fase de Tropel para proporcionar una incertidumbre de medición de 20 nanómetros. El sistema es rastreable por el Instituto Nacional de Estándares y Tecnología (NIST) y proporciona mediciones que cumplen con los estándares SEMI. También está disponible una configuración automatizada de manejo y medición de fotomáscaras.