Lente de vidrio ULE®

de siliconaUVpara la óptica

El vidrio Corning® ULE® (vidrio de expansión ultrabaja) 7972 es un vidrio de silicato de titanio con características de expansión casi nula que lo han convertido en el material de elección en aplicaciones únicas como bloques de referencia de máquinas herramienta, rejillas, bloques de referencia, espejos de referencia de interferómetros y espejos de telescopios. El ULE es un líquido monofásico superenfriado con un CET muy próximo a 0 ppb/K. EUV ULE 7973 se ha adaptado para satisfacer las necesidades de máscaras y sustratos ópticos para aplicaciones EUVL. La transición litográfica de 193 nm a 13,4 nm exigió un importante cambio de diseño en la óptica de máscara, de refractiva a reflectante. En la óptica reflectante, los materiales del sustrato deben ser puramente pasivos. La luz incidente debe reflejarse en los revestimientos multicapa de la óptica y la fotomáscara sin introducir ninguna distorsión mecánica u óptica causada por el sustrato subyacente. Para minimizar la distorsión provocada por los diminutos cambios de temperatura y cumplir las estrictas especificaciones EUVL, los sustratos deben tener un coeficiente de expansión térmica (CTE) cercano a cero y unas variaciones CTE pico-valle (P-V) bajas. Los requisitos de CET extremadamente bajos se especifican en partes por billón por grado kelvin (ppb/K). Los exigentes requisitos de CTE están obligando a mejorar también la metrología y Corning sigue perfeccionando los métodos de metrología para satisfacer las demandas de EUVL. Es posible adaptar discretamente la temperatura de cruce por cero. El vidrio de baja expansión TSGTM 7972 es el tercer miembro de la familia de vidrios de baja expansión de silicato de titanio de Corning. TSG tiene un requisito de coeficiente absoluto de expansión térmica (CTE) relajado para aquellas aplicaciones que no requieren un material de expansión casi nula.