Máquina de deposición por pulverización catódica

de película finasolar

El sistema Infinity IBD proporciona películas densas y con pocos defectos con una precisión y uniformidad extremadamente altas. Ofrece un control independiente de las energías de los iones, por lo que puede lograr especificaciones exactas de las películas finas con muy poca contaminación por descamación. El módulo Bias Target Sputter ofrece un excelente control de las interfaces de la película fina, proporciona un control independiente sobre las corrientes y energías de los iones y funciona a baja presión. Esto elimina la contaminación y la dispersión por exceso de haz, evita daños en la superficie, permite un control estricto de la tensión y crea películas densas y sin defectos. El módulo BTS mejora el coste de propiedad con un mayor uso del blanco que permite reducir el tamaño total del mismo. El diseño del sistema permite conseguir una excelente uniformidad en sustratos grandes sin necesidad de rotación. El módulo ofrece un sputtering pulsado y una mayor tasa de deposición en comparación con otras plataformas IBD. Todas estas características y ventajas exclusivas están respaldadas por el compromiso de Denton con la colaboración y el servicio a largo plazo. Con nuestros expertos, recibirá una configuración altamente fiable para satisfacer sus necesidades y especificaciones que ofrece un alto tiempo de funcionamiento del sistema y un fácil mantenimiento. Microbolómetros de óxido de vanadio Óptica de precisión (láseres, detectores IR) Recubrimientos antirreflectantes VCSEL Células solares de alta eficiencia Válvulas de espín para la grabación magnética Conjuntos de planos focales Imágenes térmicas Facetas de barras láser