Sistema de supervisión de densidad LambdaPro® OMS

para la industria electrónicade infrarrojosláser

El LambdaPro® OMS de Denton Vacuum le permite maximizar el rendimiento mediante el control de la deposición durante una tirada y lograr un rendimiento repetible de una tirada a otra. El LamdaPro OMS monitoriza las propiedades de un óptico en tiempo real mientras se está depositando, utilizando la reflexión de - o la transmisión a través de - un sustrato o chip testigo. Esta supervisión directa de un sustrato o indirecta de un chip testigo le permite terminar la deposición en el espesor óptico deseado. El sistema de monitorización óptica LambdaPro® es altamente configurable para satisfacer sus especificaciones exactas y dará lugar a un mayor rendimiento de la producción en ópticas multicapa. Esta solución ofrece una completa integración en el sistema controlado por ordenador de Denton, proporcionando una alta velocidad de exploración de la señal y conversiones analógicas a digitales, a la vez que trabaja en los modos de reflexión y transmisión. Revestimientos antirreflectantes y de alta reflectancia Facetas del láser Sensores y filtros ópticos Filtros de paso de banda Filtros y revestimientos infrarrojos Filtros de densidad neutra Metalización Divisores de haz El LambdaPro® OMS proporciona resultados espectaculares en cuanto a grosor óptico y uniformidad para múltiples pilas de películas, a la vez que proporciona una visión aguda del índice que se alcanza en tiempo real, junto con la estequiometría de la película. Dado que nuestro OMS mide el espesor óptico y no el espesor físico, esta solución es excelente para pilas ópticas complejas de varias capas.