Sistema robotizado Versa

La plataforma de cluster Versa, propiedad de Denton Vacuum, es una opción de front-end automatizado para la fabricación de grandes volúmenes. Puede configurarse con hasta dos cerraduras de carga de cassette y seis cámaras o módulos de revestimiento. Un manipulador robótico para semiconductores mueve los sustratos desde las esclusas de carga hasta los módulos para recubrirlos en múltiples capas de diferentes materiales sin romper el vacío. La Versa está diseñada para trabajar con módulos de proceso de 200 mm o 300 mm. Es compatible con el módulo de pulverización catódica Discovery y el sistema Voyager PE-CVD, y cuenta con módulos de pulverización catódica específicos y opciones de metrología específicas. También está disponible un módulo de prelimpieza dedicado, junto con el acondicionamiento del sustrato. Para permitir una producción de gran volumen durante la deposición de películas finas, la Versa funciona con el software ProcessPro-HV de Denton, que utiliza un programador de materiales y un gestor de recetas totalmente automatizados para cargar los módulos y ejecutar los pasos del proceso en múltiples cámaras con precisión y eficacia. ProcessPro-HV cumple con la norma SEMI E95 y cuenta con un completo registro de datos y gráficos dentro de la herramienta para el control y el análisis del proceso. La Versa permite una mayor eficiencia en la producción para cumplir con los requisitos de mayor rendimiento. Automatiza el proceso de carga para que usted pueda maximizar la eficiencia, y es compatible con la deposición de metales y óxidos. La configuración de varias cámaras le permite revestir varias capas a la vez sin romper el vacío, y puede ahorrar tiempo ventilando sólo el bloqueo de carga del casete en lugar de todo el módulo de pulverización catódica.