Maquina de tratamiento de superficie por plasma Bell Jar 35

al vacío

Con el término "cámara", se designa la cámara de plasma o el recipiente en el que se encuentra el gas del proceso a baja presión. La cámara está diseñada como recipiente presurizado. Se compone de un material resistente al grabado ejercido por los gases utilizados en el proceso; normalmente, acero inoxidable. Para algunos procesos, debe usarse un recipiente de vidrio de cuarzo de alta pureza. La mayoría de las cámaras (recipientes) están hechas de acero inoxidable. En el sistema de investigación Bell Jar, la cámara de plasma es una campana de vidrio de cuarzo de alta pureza.