Los sistemas de plasma de Diener electronic se han establecido desde hace tiempo en los sectores industriales más diversos. Con el sistema de plasma de baja presión Tetra 2800, puede confiar en una tecnología de plasma frío en vacío moderna y preparada para el futuro. El volumen de la cámara de aprox. 2800 litros de este sistema de plasma ofrece espacio suficiente para servir a la producción en serie.
El tratamiento con plasma a baja presión es una técnica probada para la limpieza ultrafina controlada, la mejora de la adherencia (activación y grabado) y el recubrimiento de películas finas sobre superficies de sustratos. El plasma se genera aplicando voltaje de alta frecuencia en la cámara de vacío. En el proceso, se ioniza el gas de proceso allí introducido.
Campos de aplicación:
Limpieza sin COV de residuos orgánicos
Activación antes de pintar, pegar, encapsular, ...
Grabado de PTFE, fotorresistencia, capas de óxido, ...
Recubrimientos superhidrofóbicos e hidrofílicos
Características principales:
Caja de suelo
Cámaras de vacío: Acero inoxidable
Volumen de la cámara: aprox. 2800 litros
Suministro de gas: 3 canales de gas mediante MFC, controlador de flujo másico (MFC)
Frecuencias del generador: 80 kHz (0 - 1000/3000 W), 13,56 MHz (0 - 600/1000 W), 2,45 GHz (0 - 1200 W)
Controles: Control total desde PC (Windows 10 IoT)
Medición de la presión: Pirani, manómetro de capacidad
Los sistemas de plasma Tetra 2800 se utilizan principalmente en las siguientes áreas:
Analítica, arqueología, automoción, departamentos de investigación y desarrollo, tecnología de semiconductores, producción de lotes pequeños, tecnología de plásticos, tecnología médica, tecnología de microsistemas, tecnología de sensores, esterilización, tecnología textil
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