Platina de nanoposicionamiento Z Model ZSA-1000C

verticalpiezoeléctrica1 eje

La etapa piezoeléctrica de nanoposicionamiento ZSA-1000C de DSM presenta un movimiento guiado por flexión en un rango de desplazamiento vertical de 1 mm para los procesos de exploración, metrología e inspección. El diseño cinemático estable y rígido promueve el paralelismo en el movimiento de salida con un mínimo de balanceo e inclinación, así como una respuesta dinámica para una excelente estabilidad y control de posición. La etapa se puede emparejar con el SA-500 de DSM para el control de lazo cerrado con una sonda capacitiva de alta resolución para proporcionar estabilidad de posición de 20 nm y perfiles de velocidad muy estables en regiones de exploración especificadas. - Recorrido en bucle abierto: 1050 micras ± 10% - Recorrido en bucle cerrado: 1000 micras ± 10% - Resolución de lazo cerrado: 20 nanómetros típicos Rigidez: 0,4 N/micrón ± 10% - Linealidad: 0,12% típica - Runout (Ɵх, Ɵу): <100 micro radianes típicos - Frecuencia de resonancia descargada: 200 Hz ± 10% - Frecuencia resonante @100g: 150 Hz ± 10% - Capacidad de fuerza de tracción/presión: 75/150 N Máx - Capacidad de carga: 75 N Máximo - Fuerza lateral: 10 N máx - Capacitancia eléctrica: 30 micro Faradio ± 10% - Ancho x largo: 62,5 x 125 mm - Altura: 25,1 ± 0,1 mm - Misa: 1 kilogramo ± 10 - Material: Acero inoxidable - Longitud del cable: 1,5 metros La estructura de la ZSA-1000C se adapta fácilmente al uso de una variedad de sensores de desplazamiento, incluyendo sondas capacitivas (estándar) para una verdadera capacidad de control de movimiento de nanoposicionamiento. El servoamplificador SA-500 de DSM proporciona un control de bucle cerrado independiente con comunicación serie, retroalimentación analógica o digital y E/S digital para capacidades adicionales de control y comunicación.