Platina de posicionamiento XYZ

linealpiezoeléctrica3 ejes

etapa triaxial para el vacío Cuando uno de los clientes de DSM requirió un sistema de colocación de tres ejes de encargo, DSM leveraged el diseño flexión-basado de sus actuadores piezoeléctricos del flextensional para crear a independiente las etapas de X, de Y, y de Z. El X y la Y resultantes efectúa cada uno proporcionan 200 micrones del recorrido, y el eje de Z tiene un movimiento de 500 micrones. El montaje original de la etapa fue diseñado para la compatibilidad del vacío y proporcionado los modelos del benchtop del amplificador piezoeléctrico linear de VF de DSM. El diseño básico de los sistemas de la etapa es escalable a capacidades más pequeñas/más grandes de la dislocación. Como una continuación entregable al sistema original, de anillo abierto de XYZ arriba, el cliente de DSM pidió la capacidad a circuito cerrado para las hachas de X y de Y. DSM incorporó puntas de prueba capacitivas y utilizó los amplificadores servos lineares SA-100 para proporcionar el servocontrol independiente. Las 24 entradas análogas del pedacito aceptan la señal de la blanco de la posición, y la entrada-salida digital proporciona las banderas para la "en-gama" y los disparadores de adquisición de datos.